20世紀(jì)60年代后期,小功率伺服型步進(jìn)電動(dòng)機(jī)和液壓扭矩放人器而組成的開環(huán)體系曾一度廣泛的使用在數(shù)控機(jī)床,。它最有代表性的是日本FANUC公司的電液脈沖馬達(dá)伺服體系,。但由十該體系布局過于雜亂、可靠性差等缺陷,,在幾年今后就被其他伺服體系所替代,,功率型步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的面世,,步進(jìn)電動(dòng)機(jī)開端直接用于驅(qū)動(dòng)數(shù)控體系的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。功率型步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)體系是沒有堆集差錯(cuò),、定位精度較高,、運(yùn)動(dòng)鎖定性好,而且還是布局非常的簡略,、方便制作,,本錢也比擬低價(jià)。迄今為止是在運(yùn)動(dòng)速度較低,、輸出扭矩不太大的經(jīng)濟(jì)型數(shù)控機(jī)床上依然得到遍及使用,。
數(shù)控雕銑機(jī)伺服體系的開展閱歷了好幾個(gè)期間。在20世紀(jì)60年代前期,,曾在數(shù)控雕銑機(jī)上選用液壓伺服體系,,液壓伺服體系和它時(shí)傳統(tǒng)的直流電動(dòng)機(jī)比擬,呼應(yīng)時(shí)間非常的短,、箱出一樣扭矩的伺服部件的外形尺寸小,。但由于液壓伺服體系存在著發(fā)熱量大、功率非常的低,、污染環(huán)境和不方便修理等缺陷,,所以逐漸被步進(jìn)電動(dòng)機(jī)和新式伺服電動(dòng)機(jī)所替代。